チタンターゲット:高性能コーティングのために生まれました

PVD/CVD用のカスタム高純度チタンターゲットに特化しており、さまざまな装置と互換性があります。合金の設計、溶接、納品をワンストップで提供します。

PVD真空コーティングプロセスでは、チタンターゲットは、その優れた純度、密度、高温安定性により、半導体、光学、装飾、工具コーティングなどの多くの高精度分野の中核材料となっています。当社は、さまざまな仕様と構造形態のチタンターゲットを提供し、高純度チタンおよびチタン合金ソリューションをカバーして、性能、サイズ、互換性に関するお客様の多様な要件を満たします。

高純度チタンターゲット:最大99.99 5%の純度で、半導体および機能性フィルム層に適しています。
カスタマイズされたチタン合金ターゲット:アルミニウム、クロム、ジルコニウム、モリブデン、その他の元素を必要に応じて追加して、フィルム層の性能を向上させることができます。
さまざまな製品形態:フラットターゲット、チューブターゲット、ラウンドターゲット、カソードターゲットがすべて利用可能です。
反応性マグネトロンスパッタリングやアーク蒸着などの主流のPVDプロセスをサポートします (チタンターゲットの技術パラメータを表示するにはクリックしてください)

カルコチタンスパッタリングターゲット製品の種類

丸いターゲット

ほとんどのコーターと互換性があり、さまざまなサイズで利用でき、光学コーティングや硬質コーティングに広く使用されています。
Diameter <350mm; Thickness>1mm
長方形のターゲット

大面積コーティングが必要な用途に適しています。長方形のターゲットは、より均一なコーティング結果を提供できます。
長さ1800mm;幅400ミリメートル
チューブラーターゲット

回転するターゲットシステムに最適で、装飾的で高温の耐摩耗性用途に均一なコーティングを提供します。
外径 20mm~160mm;壁の厚さ2-20mm
カスタマイズされたターゲット

当社は、お客様のアプリケーションニーズに基づいて、さまざまな合金と特定のサイズで完全にカスタマイズされたチタンターゲットを提供しています。
カスタマイズされた外径>160;厚さ>8mm

カルコチタンチタンターゲット合金のカスタマイズ

カルコチタンチタンターゲット製品には、純チタンターゲット、高性能チタン合金ターゲット、および二酸化チタン(TiO₂)やTiCターゲットなどの特殊材料ターゲットが含まれ、さまざまなコーティングアプリケーションの要件を満たします。

さらに、チタンターゲットの分野での深い経験により、さまざまな金属要素をブレンドし、お客様の特定のニーズに合わせて合金の組成をカスタマイズすることもでき、各合金ターゲットの性能がお客様のアプリケーションで最高の効果を達成できるようにします。

純チタンターゲット

半導体、光学、加飾、医療などの高精度薄膜形成分野で広く使用されている工業用チタンと高純度チタンの2つのカテゴリーをカバーする、さまざまな仕様の純チタンターゲットを提供しています。工業用純チタンターゲット(グレード1~4)は、優れた化学的安定性と耐食性を備えていますが、高純度チタンターゲットは99.99%と99.995%の純度に達することができ、不純物含有量が非常に低く、微細構造が均一で、フィルム純度の要件が非常に高いアプリケーションに特に適しています。

半導体産業(金属電極、バリア層)
光学コーティング(ミラー、光学フィルター)
加飾コーティング(携帯電話の筐体、眼鏡フレームなど)
医療機器(インプラント、デバイス表面処理)
ナノエレクトロニクス・機能性薄膜

99.99%高純度Tiターゲット
99.995%の超高純度
グレード1 CPチタン
グレード2 CPチタン
グレード3 CPチタン
グレード4 CPチタン

特殊材料ターゲット

工業用純チタンに加えて、二酸化チタン(TiO₂)、チタンアルミニウム(Ti-Al)、チタンシリコン(Ti-Si)など、特殊な用途に適したさまざまな特殊チタンターゲット材料も提供しています。これらの材料は、優れた光学特性、耐酸化性、硬度などの特性を備えており、光学コーティング、太陽電池、硬質コーティングなどの分野で広く使用されています。

二酸化チタン(TiO₂)ターゲット
純度99.99%の酸化チタンは、その優れた光学的透明性と化学的安定性が評価される一般的なターゲット材料です。光学コーティング、光触媒材料、太陽光発電産業に広く適用されています。
炭化チタン(TiC)ターゲット
炭化チタンターゲットは、非常に高い硬度と耐摩耗性を備えているため、ハードコーティング、保護面、およびマイクロエレクトロニクスのアプリケーションに最適です。
窒化チタン(TiN)ターゲット
窒化チタンは、金属光沢、導電性、耐摩耗性のユニークな組み合わせを提供します。これは、装飾コーティング、耐久性のあるハードコーティング、およびマイクロエレクトロニクスデバイスのバリア層として一般的に使用されています。

チタン合金ターゲット

カルコチタンは、幅広いカスタム合金チタンターゲットサービスを提供しています。お客様の特定の要件に応じて、アルミニウム、タンタル、モリブデン、タングステンなどの元素を添加して合金組成を調整し、耐食性、強度、耐高温性、硬度などの特性を最適化できます。当社のカスタム合金チタンターゲットソリューションは、さまざまな薄膜蒸着におけるお客様独自のニーズを満たすことができます。

コーティングされたツール:ツールの耐摩耗性を向上させ、耐用年数を延ばします。
高温コーティング:高温環境の工具や部品用。
電子機器コーティング:耐久性と耐食性を向上させます。

Ti-Al合金ターゲットとカソード
チタン-アルミニウムターゲットおよびカソード材料は、ドリル、フライス、刃先交換式インサート、その他の工具に硬くて耐酸化性の窒化物コーティング(TiAlN)を形成することを可能にします。
Ti-Nb合金ターゲット
チタン-ニオブ合金は、優れた高温耐性を持ち、高温用途環境に適しています。
Ti-W合金ターゲット
チタンタングステン合金は、優れた耐酸化性と高温安定性を備えており、高温環境でのコーティング用途によく使用されます。
Ti-Si合金ターゲット
チタンシリコン合金は、硬度と耐摩耗性が向上しており、工具や金型のコーティングに広く使用されています。
Ti-Ta合金ターゲット
強化された耐酸化性と耐食性、過酷な環境のフィルムに適しています
Ti-Mo合金ターゲット
高強度で耐食性に優れており、電子部品のコーティングに適しています

チタン合金ターゲット

製品の利点:スパッタリング性能とマイクロ制御の利点

穀物の構造

溶融、鍛造、熱処理のプロセスを最適化することで、均一で微細な粒子構造を実現でき、スパッタリング速度と膜の一貫性を向上させ、安定した膜性能を確保するのに役立ちます。

純度保証

私たちは、不純物をppbレベルで制御した最大99.995%の高純度チタンターゲットを提供し、半導体および光学レベルの非常に高い純度要件を満たし、フィルムの汚染や欠陥を回避します。

高密度・脱気処理(緻密化・アウトガス制御)

熱間静水圧プレス(HIP)技術と真空脱気プロセスにより、ターゲット材料の密度を効果的に改善し、ガス放出速度を低減し、フィルムの接着性と信頼性を向上させることができます。

均一性とスパッタリング安定性

ターゲット材料は均一な厚さと緻密な構造を備えているため、スパッタリング中のターゲット材料のバランスの取れた侵食が保証され、異常なアーク放電が減少し、機器の動作効率と膜形成の一貫性が向上します。

カルコチタンチタンターゲットのカスタマイズされた生産とアプリケーションサポートの統合ソリューション

Chalcotitaniumでは、高精度でカスタマイズされたチタンターゲットを提供するだけでなく、設計と開発から機器の適応までのフルプロセスサービスを通じて、お客様が効率的で安定した薄膜形成生産を実現できるよう支援します。

マテリアルデザインとカスタム開発

お客様のコーティング性能要件に応じて、適切な合金元素を選択し、ターゲット材料の性能がアプリケーション要件と高度に一致するように組成と構造を設計するのを支援します。

インターフェース構造のカスタマイズと溶接技術

さまざまな高信頼性溶接方法(拡散溶接やホットプレス溶接など)をサポートし、円形、長方形、管状のターゲット構造とカソード接続インターフェースをさまざまな機器要件に応じてカスタマイズして、機器のシームレスなマッチングを実現できます。

機器の適応に関する豊富な経験

私たちは主流のPVD / CVD装置メーカー(ULVAC、AJA、Kurt J. Lesker、Singulusなど)の仕様に精通しており、サイズ、電極構造、冷却方法などの主要なパラメータ要件を正確に満たすことができます。

ラピッドプロトタイピングとプロセスコラボレーション

ラピッドプロトタイピングサービスと初期パラメータの推奨をお客様に提供することで、プロセスエンジニアが機器の試運転、パラメータの最適化、バッチ操作を迅速に完了できるように支援します。

バッチの一貫性の保証

厳格な品質管理体制により、対象材料の寸法公差、純度、性能の安定性を確保し、長期安定供給を実現しています。

カルコチタンチタンターゲット製品応用協力分野

カルコチタニウムのチタンターゲットは、さまざまな業界で広く使用されています。当社の専門知識と高品質の製品は、次の業界で重要な役割を果たしています。

自動車用ガラスとWEBコーティング

高性能建築、自動車、太陽光発電ガラス、ミラー用のスパッタリングターゲットを供給しています。

半導体材料

当社の化合物半導体材料(純度99.99%〜99.995%)は、高度な研究・生産のために様々な形態で提供しています。

耐摩耗性コーティング

切削工具、金型、機械部品の耐摩耗性と寿命を向上させ、効率を高めます。

光学コーティング

当社の光学コーティングは、厳しい業界基準を満たし、サングラス、ヘッドライト、フィルター、レーザーシステムに使用されています。

太陽

当社のスパッタリングターゲットは、持続可能なエネルギーのための薄膜PV、太陽熱、およびCSPシステムを可能にします。

電子工学

急速に成長するエレクトロニクス業界に、抵抗器、半導体、その他の部品を製造するための高純度材料を提供しています。

化合物半導体材料

高純度チタンターゲットは、先端研究をサポートし、半導体や新しいエレクトロニクスに最適です。

装飾コーティング

外観、耐食性、耐擦傷性を向上させるために使用されます。電子機器、電化製品、建築材料に広く適用されています。

航宇

チタン製のターゲットは腐食や酸化に強く、過酷な環境での航空宇宙用途に最適です。

カルコチタンチタンターゲット製品の技術パラメータ

チタンターゲットの各バッチが性能、構造、環境基準で非常に一貫していることを確認するために、Chalcotitanium は厳格な品質管理システムを順守しています。当社のすべての製品は材料試験レポートを提供でき、一部の製品はRoHS環境認証に合格し、ISO標準システム要件を満たしています。お客様のさまざまな機器やアプリケーション要件に基づいて、さまざまな純度レベル、合金組成、および物理的性能パラメータを備えたチタンターゲットを提供し、高精度の堆積プロセスで最高の結果を得ることができます。

製品仕様の範囲

カルコチタンは、顧客のさまざまな機器やプロセス要件に応じてさまざまな構造とサイズのチタンターゲットを提供し、プロセスの互換性と効率的な運用を確保するためのインターフェース溶接と複合カスタマイズサービスをサポートします。

プロジェクト	範囲/タイプ	説明
ターゲット形状	円形、長方形、リング、管状	機器の構造に合わせてカスタマイズ可能
サイズ範囲	直径:≤ 450ミリメートル
厚さ:≤ 40 mm	特大サイズはカスタマイズできます
表面処理	機械加工、研磨、サンドブラスト、片面鏡面処理	堆積要件に応じてさまざまな表面条件を提供します
バックプレート溶接方式	拡散溶接、熱圧溶接、爆発溶接	さまざまなカソード接続構造に適した高信頼性溶接
インターフェース構造のカスタマイズ	シングルターゲット、コンポジットターゲット、Tタイプターゲット、カソードビルトイン構造など	さまざまなカソード機器構成をサポート
マッチング精度の公差制御	寸法公差 ±0.05 mm
平坦度≤0.1mm	お客様の図面通りの精密加工が可能

純チタンターゲットの化学組成(GDMS分析結果)

純度99.995%の典型的な分析、GDMSによる分析
要素	ppmの	要素	ppmの
Li	<0.01	Nb	<0.2
Be	<0.005	Mo	<0.5
B	<0.01	Ru	<0.01
Na	<0.01	R	<0.05
Mg	0.05	Pd	<0.01
Al	0.01	Ag	<0.05
Si	0.21	Cd	<0.05
P	<0.01	In	<0.05
S	0.02	Sn	<0.05
K	<0.01	Sb	<0.05
Ca	<0.2	Te	<0.05
Sc	<0.05	Ba	<0.005
V	0.01	Ce	<0.005
Cr	0.06	Hf	<0.01
Mn	0.06	Ta	< 2
Fe	1.5	W	<0.01
Co	<0.01	Re	<0.01
Ni	0.16	Os	<0.01
Cu	0.2	Ir	<0.01
Zn	<0.05	Pt	<0.05
Ga	<0.05	Au	<0.05
Ge	<0.05	Hg	<0.1
As	0.02	Pb	<0.01
Se	<0.05	Bi	<0.01
Zr	<0.05	Th	<0.0001

物理的性能パラメータ(参考値)

プロジェクト	単位	インデックス(工業用純チタン)
密度	グラム/cm³	4.51
比抵抗	μΩ・cm	42~48
硬度	HV	140~160
粒度制御	μmの	≤ 50 (カスタマイズ可能)
密度	%	≥ 99.5
表面粗さ	Ra(μmの)	≤ 0.3 (片面研磨)

注:チタン合金ターゲットの特定の組成と性能パラメータは、顧客の要件に応じてカスタマイズできます。詳細については、詳細な式とテストレポートを入手するためにお問い合わせください。

チタンターゲット材料技術パラメータテーブル

アイテム	単位	仕様
マテリアルタイプ	チタン
記号	Ti
原子量	47.867
原子番号	22
色/外観	シルバーメタリック
熱伝導率	W/m・K	21.9
融点(°C)	°C	1,660
熱膨張係数	×10⁻⁶/K	8.6
理論密度(g / cc)	グラム/cm³	4.5
Zレシオ		0.628
燻る		DC
最大電力密度	W /スクエアインチ	50*
ボンドタイプ		インジウム、エラストマー
コメント		W / Ta / Moとの合金;最初の加熱でガスを発生させます。

サービスとサポート:チタンターゲットの購入に関するFAQ

チタンターゲット購入梱包と配送

輸送中のターゲットの安全性と完全性を確保するために、国内および輸出輸送基準に適した帯電防止バッグ+フォームクッション+頑丈な木箱の複数の梱包方法を使用しています。航空輸送、海上輸送、速達など複数の物流方法に対応しています。配送サイクルは、製品の種類と数量に応じて柔軟に調整され、最速で7営業日以内に発送できます。