Титановые мишени: созданы для нанесения высокоэффективных покрытий
В процессе вакуумного нанесения покрытий PVD титановые мишени стали основными материалами для многих высокоточных областей, таких как полупроводники, оптика, декоративные и инструментальные покрытия, благодаря своей превосходной чистоте, плотности и стабильности к высоким температурам. Мы поставляем титановые мишени с различными спецификациями и структурными формами, включая решения из титана и титановых сплавов высокой чистоты, чтобы удовлетворить разнообразные требования клиентов к производительности, размерам и совместимости.
- Титановая мишень высокой чистоты: чистота до 99,99 5 %, подходит для полупроводниковых и функциональных пленочных слоев;
- Индивидуальная мишень из титанового сплава: алюминий, хром, цирконий, молибден и другие элементы могут быть добавлены по мере необходимости для улучшения характеристик слоя пленки;
- Доступны различные формы продукции: плоские мишени, трубчатые мишени, круглые мишени и катодные мишени;
- Поддерживает основные процессы PVD, такие как реактивное магнетронное распыление и дуговое испарение (нажмите, чтобы просмотреть технические параметры титановой мишени)
Типы мишеней для напыления халькотитана
- Круглая мишень
Совместим с большинством установок для нанесения покрытий, доступен в различных размерах и широко используется для нанесения оптических и твердых покрытий.
Diameter <350mm; Thickness>1mm
- Прямоугольная мишень
Подходит для применений, требующих покрытия большой площади. Прямоугольные мишени могут обеспечить более равномерные результаты покрытия.
Длина 1800 мм; Ширина 400 мм
- Трубчатая мишень
Идеально подходит для вращающихся систем мишеней, предлагая равномерные покрытия для декоративных и высокотемпературных износостойких применений.
Внешний диаметр 20 мм ~ 160 мм; Толщина стенки 2-20 мм
- Настраиваемая мишень
Мы предлагаем полностью индивидуальные титановые мишени из различных сплавов и конкретных размеров в зависимости от потребностей наших клиентов.
Индивидуальный внешний диаметр>160; Толщина>8мм
Кастомизация халькотитанового титанового целевого сплава
Мишени из халькотитанового титана включают мишени из чистого титана, мишени из высокоэффективных титановых сплавов и мишени из специальных материалов, таких как мишени из диоксида титана (TiO ₂) и TiC, для удовлетворения требований различных применений покрытий.
Кроме того, благодаря нашему обширному опыту в области титановых мишеней, мы также можем смешивать различные металлические элементы и настраивать состав сплава в соответствии с конкретными потребностями клиентов, гарантируя, что характеристики каждой мишени из сплава достигают наилучшего эффекта в применении клиента.
Мишень из чистого титана
Мы поставляем мишени из чистого титана различных спецификаций, охватывающие две категории: титан промышленного качества и титан высокой чистоты, которые широко используются в высокоточных областях осаждения тонких пленок, таких как полупроводники, оптика, декорирование и лечение. Промышленные мишени из чистого титана (Grade 1 ~ 4) обладают отличной химической стабильностью и коррозионной стойкостью, в то время как мишени из титана высокой чистоты могут достигать чистоты 99,99% и 99,995%, с чрезвычайно низким содержанием примесей и однородной микроструктурой, и особенно подходят для применений с чрезвычайно высокими требованиями к чистоте пленки.
- Полупроводниковая промышленность (металлические электроды, барьерные слои)
- Оптическое покрытие (зеркала, оптические фильтры)
- Декоративное покрытие (корпус мобильного телефона, оправа для очков и т.д.)
- Медицинские изделия (имплантаты, обработка поверхности аппарата)
- Наноэлектроника и функциональные тонкие пленки
- Целевой показатель Ti высокой чистоты 99,99%
- 99,995% сверхвысокой чистоты
- Титан Grade 1 CP
- Титан Grade 2 CP
- Титан Grade 3 CP
- Титан Grade 4 CP
Специальные материальные мишени
В дополнение к промышленному чистому титану мы также предлагаем различные специальные материалы для титановых мишеней, включая диоксид титана (TiO ₂), титан алюминий (Ti-Al), кремний титана (Ti-Si) и т. д., подходящие для специальных требований применения. Эти материалы обладают отличными оптическими свойствами, стойкостью к окислению, твердостью и другими характеристиками, и широко используются в оптических покрытиях, солнечных батареях, твердых покрытиях и других областях.
- Мишень на основе диоксида титана (TiO₂)
Диоксид титана с чистотой 99,99% является распространенным материалом-мишенью, ценимым за его превосходную оптическую прозрачность и химическую стабильность. Он широко применяется в оптических покрытиях, фотокаталитических материалах и солнечной фотоэлектрической промышленности.
- Мишень из карбида титана (TiC)
Мишени из карбида титана отличаются чрезвычайно высокой твердостью и износостойкостью, что делает их идеальными для нанесения твердых покрытий, защитных поверхностей и применения в микроэлектронике.
- Мишень из нитрида титана (TiN)
Нитрид титана предлагает уникальное сочетание металлического блеска, электропроводности и износостойкости. Он обычно используется в декоративных покрытиях, прочных твердых покрытиях, а также в качестве барьерных слоев в микроэлектронных устройствах.
Мишень из титанового сплава
Chalcotitanium предоставляет широкий спектр услуг по изготовлению мишеней из титанового сплава по индивидуальному заказу. В соответствии с вашими конкретными требованиями мы можем скорректировать состав сплава, добавив такие элементы, как алюминий, тантал, молибден, вольфрам и т. д., для оптимизации таких свойств, как коррозионная стойкость, прочность, устойчивость к высоким температурам, твердость и т. д. Наши индивидуальные решения для мишеней из титанового сплава гарантируют, что они могут удовлетворить ваши уникальные потребности в нанесении различных тонких пленок.
- Инструменты с покрытием: Улучшают износостойкость инструментов и продлевают срок их службы.
- Высокотемпературное покрытие: для инструментов и деталей в условиях высоких температур.
- Покрытия для электронного оборудования: повышают долговечность и коррозионную стойкость.
- Мишень и катод из сплава Ti-Al
Титано-алюминиевые мишени и катодные материалы позволяют формировать твердые, устойчивые к окислению нитридные покрытия (TiAlN) на сверлах, фрезах, пластинах со сменными пластинами и других инструментах.
- Мишень из сплава Ti-Nb
Титан-ниобиевый сплав обладает хорошей устойчивостью к высоким температурам и подходит для применения в условиях высоких температур.
- Мишень из сплава Ti-W
Титановый вольфрамовый сплав обладает хорошей стойкостью к окислению и стабильностью при высоких температурах и часто используется для нанесения покрытий в высокотемпературных средах.
- Мишень из сплава Ti-Si
Титановые кремниевые сплавы обладают повышенной твердостью и износостойкостью и широко используются в покрытиях инструментов и пресс-форм.
- Мишень из сплава Ti-Ta
Повышенная стойкость к окислению и коррозии, подходит для пленок в суровых условиях
- Мишень из сплава Ti-Mo
Обладая высокой прочностью и отличной коррозионной стойкостью, он подходит для нанесения покрытий на электронные компоненты
Преимущества продукта: производительность распыления и преимущества микроконтроля
Структура зерна
Оптимизируя процессы плавления, ковки и термообработки, можно добиться однородной и мелкозернистой структуры, что помогает улучшить скорость напыления и консистенцию пленки, а также обеспечить стабильные характеристики пленки.
Гарантия чистоты
Мы поставляем титановые мишени высокой чистоты до 99,995%, с примесями, контролируемыми на уровне ppb, отвечая чрезвычайно высоким требованиям чистоты полупроводниковых и оптических уровней и предотвращая загрязнение пленкой и дефекты.
Высокая плотность и дегазация (контроль уплотнения и дегазации)
Благодаря технологии горячего изостатического прессования (HIP) и процессу вакуумной дегазации можно эффективно улучшить плотность целевого материала, снизить скорость выделения газа, а также улучшить адгезию и надежность пленки.
Однородность и стабильность распыления
Материал мишени имеет равномерную толщину и плотную структуру, что обеспечивает сбалансированную эрозию материала мишени при распылении, снижает аномальный дуговой разряд, повышает эффективность работы оборудования и постоянство образования пленки.
Интегрированное решение для индивидуального производства и поддержки применения халькотитанового титана
В Chalcotitanium мы не только поставляем высокоточные титановые мишени по индивидуальному заказу, но и помогаем клиентам достичь эффективного и стабильного производства тонкопленочного осаждения благодаря комплексным технологическим услугам от проектирования и разработки до адаптации оборудования.
Дизайн материалов и разработка на заказ
В соответствии с требованиями заказчика к характеристикам покрытия, мы помогаем в выборе подходящих элементов сплава и проектировании состава и структуры, чтобы гарантировать, что характеристики целевого материала в значительной степени соответствуют требованиям применения.
Кастомизация структуры интерфейса и технология сварки
Он поддерживает различные методы высоконадежной сварки (такие как диффузионная сварка и сварка горячим прессованием) и может настраивать круглые, прямоугольные и трубчатые целевые структуры и интерфейсы подключения катодов в соответствии с различными требованиями к оборудованию для достижения бесшовного согласования оборудования.
Богатый опыт адаптации оборудования
Мы знакомы со спецификациями основных производителей оборудования для PVD / CVD (таких как ULVAC, AJA, Kurt J. Lesker, Singulus и т. д.) и можем точно удовлетворить ключевые требования к параметрам, таким как размер, структура электродов и метод охлаждения.
Быстрое создание прототипов и совместная работа
Мы предоставляем клиентам услуги по быстрому прототипированию и рекомендации по исходным параметрам, чтобы помочь инженерам-технологам быстро завершить ввод оборудования в эксплуатацию, оптимизацию параметров и серийную эксплуатацию.
Гарантия постоянства партии
Благодаря строгой системе контроля качества мы обеспечиваем стабильность целевых материалов с точки зрения допусков по размерам, чистоте и производительности, а также добиваемся долгосрочной стабильной поставки.
Области сотрудничества по применению халькотитанового титанового целевого продукта
Титановые мишени из халькотитана широко используются в различных отраслях промышленности. Наш опыт и высокое качество продукции играют жизненно важную роль в следующих отраслях:
Автомобильные стекла и покрытия WEB
Поставка мишеней для распыления высокопроизводительных архитектурных, автомобильных, фотоэлектрических стекол и зеркал.
Полупроводниковые материалы
Наши составные полупроводниковые материалы (чистота 99,99–99,995%) поставляются в различных формах для передовых исследований и производства.
Износостойкое покрытие
Повышает износостойкость и срок службы режущих инструментов, пресс-форм и механических деталей, повышая эффективность.
Оптическое покрытие
Наши оптические покрытия соответствуют строгим отраслевым стандартам и используются в солнцезащитных очках, фарах, фильтрах и лазерных системах.
Солнечный
Наши мишени для распыления позволяют создавать тонкопленочные фотоэлектрические, солнечные тепловые и CSP-системы для устойчивой энергетики.
Электроника
Предоставление материалов высокой чистоты для быстро развивающейся электронной промышленности для производства резисторов, полупроводников и других компонентов.
Составные полупроводниковые материалы
Титановые мишени высокой чистоты поддерживают передовые исследования и идеально подходят для полупроводников и новой электроники.
Декоративное покрытие
Используется для улучшения внешнего вида, устойчивости к коррозии и царапинам; Широко применяется в электронике, бытовой технике и строительных материалах.
Аэрокосмический
Титановые мишени устойчивы к коррозии и окислению, идеально подходят для применения в аэрокосмической промышленности в экстремальных условиях.
Технические параметры изделия из халькотитанового титана
Чтобы гарантировать, что каждая партия титановых мишеней отличается высокими эксплуатационными характеристиками, структурой и экологическими стандартами, Chalcotitanium придерживается строгой системы управления качеством. Все наши продукты могут предоставлять отчеты об испытаниях материалов, а некоторые продукты прошли экологическую сертификацию RoHS и соответствуют стандартным системным требованиям ISO. Основываясь на различных требованиях клиентов к оборудованию и применению, мы можем предоставить титановые мишени с различными уровнями чистоты, составами сплавов и физическими параметрами для обеспечения наилучших результатов в процессах высокоточного осаждения.
Характеристики продукции Ассортимент
Chalcotitanium может предоставить титановые мишени с различными структурами и размерами в соответствии с различными требованиями клиентов к оборудованию и технологическим процессам, а также поддержать услуги по сварке интерфейсов и настройке композитных материалов для обеспечения совместимости процессов и эффективной работы.
| Проект | Диапазон/Тип | Иллюстрировать |
|---|---|---|
| Форма цели | Круглые, прямоугольные, кольцевые, трубчатые | Может быть настроен в соответствии со структурой оборудования |
| Размерный ряд | Диаметр: ≤ 450 мм | |
| Толщина: ≤ 40 мм | Очень большой размер может быть настроен по индивидуальному заказу | |
| Поверхностная обработка | Механическая обработка, полировка, пескоструйная обработка, односторонняя зеркальная обработка | Обеспечение различных условий поверхности в соответствии с требованиями к наплавке |
| Метод сварки задней пластины | Диффузионная сварка, горячая сварка давлением, сварка взрывом | Высоконадежная сварка, подходит для различных конструкций катодных соединений |
| Кастомизация структуры интерфейса | Одиночная мишень, составная мишень, мишень Т-типа, катодная встроенная конструкция и т.д. | Поддержка различных конфигураций катодного оборудования |
| Согласование контроля прецизионных допусков | Допуск по размерам ±0,05 мм | |
| Плоскостность ≤ 0,1 мм | Прецизионная обработка может быть выполнена по чертежам заказчика |
Химический состав мишени из чистого титана (результаты анализа GDMS)
| Типичный анализ на чистоту 99,995%, анализ с помощью GDMS | |||
|---|---|---|---|
| Элемент | Промилле | Элемент | Промилле |
| Li | <0.01 | Nb | <0.2 |
| Be | <0.005 | Mo | <0.5 |
| B | <0.01 | Ru | <0.01 |
| Na | <0.01 | R | <0.05 |
| Mg | 0.05 | Pd | <0.01 |
| Al | 0.01 | Ag | <0.05 |
| Si | 0.21 | Cd | <0.05 |
| P | <0.01 | In | <0.05 |
| S | 0.02 | Sn | <0.05 |
| K | <0.01 | Sb | <0.05 |
| Ca | <0.2 | Te | <0.05 |
| Sc | <0.05 | Ba | <0.005 |
| V | 0.01 | Ce | <0.005 |
| Cr | 0.06 | Hf | <0.01 |
| Mn | 0.06 | Ta | < 2 |
| Fe | 1.5 | W | <0.01 |
| Co | <0.01 | Re | <0.01 |
| Ni | 0.16 | Os | <0.01 |
| Cu | 0.2 | Ir | <0.01 |
| Zn | <0.05 | Pt | <0.05 |
| Ga | <0.05 | Au | <0.05 |
| Ge | <0.05 | Hg | <0.1 |
| As | 0.02 | Pb | <0.01 |
| Se | <0.05 | Bi | <0.01 |
| Zr | <0.05 | Th | <0.0001 |
Физические эксплуатационные параметры (справочные значения)
| Проект | Единица | Индекс (промышленный чистый титан) |
|---|---|---|
| плотность | г/см³ | 4.51 |
| Удельное сопротивление | μОм·см | 42~48 |
| твёрдость | HV | 140~160 |
| Контроль размера зерна | мкм | ≤ 50 (настраиваемый) |
| Плотность | % | ≥ 99,5 |
| Шероховатость поверхности | Ra (μм) | ≤ 0,3 (односторонняя полировка) |
Примечание: Конкретный состав и эксплуатационные параметры мишеней из титанового сплава могут быть настроены в соответствии с требованиями заказчика. Для получения подробной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами, чтобы получить подробные формулы и отчеты об испытаниях.
Таблица технических параметров материала титановой мишени
| Пункт | Единица | Спецификация |
|---|---|---|
| Тип материала | Титан | |
| Символ | Ti | |
| Атомная масса | 47.867 | |
| Атомный номер | 22 | |
| Цвет/внешний вид | Серебристый металлик | |
| Теплопроводность | Вт/м·К | 21.9 |
| Температура плавления (°С) | °С | 1,660 |
| Коэффициент теплового расширения | х 10⁻⁶/К | 8.6 |
| Теоретическая плотность (г/куб. см) | г/см³ | 4.5 |
| Коэффициент Z | 0.628 | |
| Шипение | DC | |
| Максимальная удельная мощность | С квадратным дюймом | 50* |
| Тип связующего звена | Индий, Эластомер | |
| Комментарии | Сплавы с W/Ta/Mo; выделяет газ при первом нагревании. |
Сервис и поддержка: часто задаваемые вопросы о покупке титановых мишеней
Титан целевое закупка, упаковка и доставка
Для обеспечения безопасности и целостности объекта при транспортировке мы используем несколько способов упаковки антистатических пакетов + пенопластовая амортизация + прочные деревянные ящики, которые подходят для отечественных и экспортных стандартов транспортировки. Мы поддерживаем различные методы логистики, такие как авиаперевозки, морские перевозки и экспресс-доставка. Цикл доставки гибко настраивается в зависимости от типа и количества продукта и может быть отправлен в течение 7 рабочих дней.
Как правильно выбрать тип титановой мишени?
Вы можете выбрать в соответствии с вашим процессом нанесения покрытия, типом питания (постоянный или радиочастотный), структурой интерфейса оборудования и другими факторами. Мы также предоставляем предложения по выбору и технические консультационные услуги.
Предоставляете ли вы отчеты о сторонних тестах?
Да, мы можем предоставить отчеты SGS, RoHS, ISO и другие соответствующие отчеты об испытаниях и сертификации по запросу, чтобы гарантировать, что продукция соответствует требованиям системы качества заказчика.
На что следует обращать внимание при хранении и обслуживании титановых мишеней?
Пожалуйста, храните в сухом и проветриваемом помещении, чтобы избежать прямого контакта с водяным паром и агрессивными газами. Неиспользованные мишени рекомендуется хранить в оригинальной герметичной упаковке.
Можете ли вы предоставить образцы или испытания?
Поддержка небольших партий образцов и услуги быстрой пробы, чтобы помочь клиентам максимально быстро завершить технологические испытания.
Получите эксклюзивные решения
Независимо от того, ищете ли вы стабильные и эффективные стандартные титановые мишени или вам требуются индивидуальные изделия с особыми свойствами, Chalcotitanium может предоставить вам надежную поддержку.
Свяжитесь с нашими техническими консультантами для получения подробной информации о продукте, решениях для проверки и индивидуальных ценах.
Есть вопросы по покупке?
Свяжитесь с нами, чтобы получить лучшую цену и бесплатные образцы.
