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Titan-Targets: Geboren für Hochleistungsbeschichtungen

Titan-Targets: Geboren für Hochleistungsbeschichtungen

Spezialisiert auf kundenspezifische hochreine Titantargets für PVD/CVD, die mit verschiedenen Geräten kompatibel sind. Bietet Legierungsdesign, Schweißen und Lieferung aus einer Hand.

Im PVD-Vakuumbeschichtungsverfahren sind Titantargets aufgrund ihrer hervorragenden Reinheit, Dichte und Hochtemperaturstabilität zu den Kernmaterialien für viele hochpräzise Bereiche wie Halbleiter, Optiken, Dekorations- und Werkzeugbeschichtungen geworden. Wir bieten Titantargets in verschiedenen Spezifikationen und Strukturformen an, die hochreines Titan und Titanlegierungslösungen abdecken, um die unterschiedlichen Anforderungen der Kunden an Leistung, Größe und Kompatibilität zu erfüllen.

  • Hochreines Titan-Target: Reinheit bis zu 99,99 5 %, geeignet für Halbleiter- und Funktionsfilmschichten;
  • Kundenspezifisches Ziel für Titanlegierungen: Aluminium, Chrom, Zirkonium, Molybdän und andere Elemente können nach Bedarf hinzugefügt werden, um die Leistung der Filmschicht zu verbessern.
  • Verschiedene Produktformen sind erhältlich: flache Targets, Röhrentargets, runde Targets und Kathodentargets;
  • Unterstützt gängige PVD-Prozesse wie reaktives Magnetron-Plappernn und Lichtbogenverdampfung ( klicken Sie hier, um die technischen Parameter des Titantargets anzuzeigen )

Zielprodukttypen für Chalkotitan-Plappernn

  • Rundes Ziel
    Rundes Ziel

    Kompatibel mit den meisten Beschichtern, in verschiedenen Größen erhältlich und weit verbreitet in optischen und harten Beschichtungen.

    Diameter <350mm; Thickness>1mm

  • Rechteckiges Ziel
    Rechteckiges Ziel

    Geeignet für Anwendungen, die eine großflächige Beschichtung erfordern. Rechteckige Targets können zu gleichmäßigeren Beschichtungsergebnissen führen.

    Länge 1800mm; Breite 400mm

  • Rohrförmiges Ziel
    Rohrförmiges Ziel

    Ideal für rotierende Target-Systeme, die gleichmäßige Beschichtungen für dekorative und verschleißfeste Hochtemperaturanwendungen bieten.

    Außendurchmesser 20 mm ~ 160 mm; Wandstärke 2-20mm

  • Maßgeschneidertes Ziel
    Maßgeschneidertes Ziel

    Wir bieten vollständig kundenspezifische Titantargets in verschiedenen Legierungen und spezifischen Größen an, die auf den Anwendungsanforderungen unserer Kunden basieren.

    Kundenspezifischer Außendurchmesser>160; Dicke>8mm

Anpassung der Chalkotitan-Titan-Ziellegierung

Zu den Chalkotitan-Titan-Target-Produkten gehören Targets aus reinem Titan, Targets aus Hochleistungs-Titanlegierungen und spezielle Materialtargets wie Titandioxid (TiO₂) und TiC-Targets, um den Anforderungen verschiedener Beschichtungsanwendungen gerecht zu werden.

Darüber hinaus können wir mit unserer fundierten Erfahrung auf dem Gebiet der Titantargets auch verschiedene Metallelemente mischen und die Zusammensetzung der Legierung an die spezifischen Bedürfnisse der Kunden anpassen, um sicherzustellen, dass die Leistung jedes Legierungstargets in der Anwendung des Kunden die beste Wirkung erzielt.

Ziel aus reinem Titan

Wir bieten Ziele aus reinem Titan mit verschiedenen Spezifikationen an, die zwei Kategorien abdecken: Titan in Industriequalität und hochreines Titan, die in hochpräzisen Dünnschichtabscheidungsbereichen wie Halbleitern, Optiken, Dekorationen und medizinischen Behandlungen weit verbreitet sind. Industrielle Reintitantargets (Grade 1 ~ 4) weisen eine ausgezeichnete chemische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit auf, während hochreine Titantargets eine Reinheit von 99,99 % und 99,995 % erreichen können, mit extrem niedrigem Verunreinigungsgehalt und gleichmäßiger Mikrostruktur und eignen sich besonders für Anwendungen mit extrem hohen Anforderungen an die Filmreinheit.

  • Halbleiterindustrie (Metallelektroden, Barriereschichten)
  • Optische Beschichtung (Spiegel, optische Filter)
  • Dekorative Beschichtungen (Handygehäuse, Brillengestelle, etc.)
  • Medizinprodukte (Implantate, Oberflächenbehandlung von Geräten)
  • Nanoelektronik und funktionale Dünnschichten
  • 99,99 % hochreines Ti-Ziel
  • 99,995 % ultrahohe Reinheit
  • Grad 1 CP Titan
  • Grad 2 CP Titan
  • Grad 3 CP Titan
  • Grad 4 CP Titan

Spezielle Materialziele

Neben industriellem Reintitan bieten wir auch eine Vielzahl von speziellen Titan-Zielmaterialien an, darunter Titandioxid (TiO₂), Titan-Aluminium (Ti-Al), Titan-Silizium (Ti-Si) usw., die für spezielle Anwendungsanforderungen geeignet sind. Diese Materialien haben hervorragende optische Eigenschaften, Oxidationsbeständigkeit, Härte und andere Eigenschaften und werden häufig in optischen Beschichtungen, Solarzellen, Hartstoffbeschichtungen und anderen Bereichen verwendet.

  • Titandioxid (TiO₂)-Ziel

    Mit einer Reinheit von 99,99 % ist Titandioxid ein gängiges Zielmaterial, das für seine hervorragende optische Transparenz und chemische Stabilität geschätzt wird. Es wird häufig in optischen Beschichtungen, photokatalytischen Materialien und der Solar-Photovoltaik-Industrie eingesetzt.

  • Titankarbid (TiC) Target

    Titancarbid-Targets zeichnen sich durch eine extrem hohe Härte und Verschleißfestigkeit aus und eignen sich daher ideal für Hartstoffbeschichtungen, Schutzoberflächen und Anwendungen in der Mikroelektronik.

  • Titannitrid (TiN)-Target

    Titannitrid bietet eine einzigartige Kombination aus metallischem Glanz, elektrischer Leitfähigkeit und Verschleißfestigkeit. Es wird häufig in dekorativen Beschichtungen, dauerhaften Hartbeschichtungen und als Barriereschichten in mikroelektronischen Geräten verwendet.

Ziel aus Titanlegierung

Chalcotitanium bietet eine breite Palette von Dienstleistungen für kundenspezifische Titanlegierungen. Entsprechend Ihren spezifischen Anforderungen können wir die Legierungszusammensetzung durch Zugabe von Elementen wie Aluminium, Tantal, Molybdän, Wolfram usw. anpassen, um Eigenschaften wie Korrosionsbeständigkeit, Festigkeit, Hochtemperaturbeständigkeit, Härte usw. zu optimieren. Unsere kundenspezifischen Target-Lösungen aus Legierungen aus Titan stellen sicher, dass sie Ihre individuellen Anforderungen bei der verschiedenen Dünnschichtabscheidung erfüllen können.

  • Beschichtete Werkzeuge: Verbessern Sie die Verschleißfestigkeit der Werkzeuge und verlängern Sie deren Lebensdauer.
  • Hochtemperaturbeschichtung: für Werkzeuge und Teile in Umgebungen mit hohen Temperaturen.
  • Beschichtungen für elektronische Geräte: Verbessern Sie die Haltbarkeit und Korrosionsbeständigkeit.
  • Target und Kathode aus Ti-Al-Legierung

    Titan-Aluminium-Target- und Kathodenwerkstoffe ermöglichen die Bildung von harten, oxidationsbeständigen Nitridschichten (TiAlN) auf Bohrern, Fräsern, Wendeschneidplatten und anderen Werkzeugen.

  • Ti-Nb-Legierungs-Target

    Die Titan-Niob-Legierung hat eine gute Hochtemperaturbeständigkeit und ist für Hochtemperaturumgebungen geeignet.

  • Ti-W-Legierungs-Target

    Titan-Wolfram-Legierung hat eine gute Oxidationsbeständigkeit und eine hohe Temperaturstabilität und wird häufig in Beschichtungsanwendungen in Umgebungen mit hohen Temperaturen verwendet.

  • Ti-Si-Legierungs-Target

    Titan-Silizium-Legierungen haben eine verbesserte Härte und Verschleißfestigkeit und werden häufig in Werkzeug- und Formenbeschichtungen verwendet.

  • Ti-Ta-Legierungs-Target

    Verbesserte Antioxidations- und Korrosionsbeständigkeit, geeignet für Folien in rauen Umgebungen

  • Ti-Mo-Legierungs-Target

    Mit hoher Festigkeit und ausgezeichneter Korrosionsbeständigkeit eignet es sich für die Beschichtung elektronischer Komponenten

Ziel aus Titanlegierung

Produktvorteile: Plappernleistung und Vorteile bei der Mikrosteuerung

Kornstruktur

Durch die Optimierung der Schmelz-, Schmiede- und Wärmebehandlungsprozesse kann eine gleichmäßige und feine Kornstruktur erreicht werden, die dazu beiträgt, die Plappernrate und die Schichtkonsistenz zu verbessern und eine stabile Schichtleistung zu gewährleisten.

Reinheitssicherung

Wir bieten hochreine Titantargets von bis zu 99,995 % mit Verunreinigungen, die auf ppb-Ebene kontrolliert werden, die extrem hohen Reinheitsanforderungen von Halbleitern und optischen Ebenen erfüllen und Filmkontaminationen und Defekte vermeiden.

Behandlung mit hoher Dichte und Entgasung (Verdichtungs- und Ausgasungskontrolle)

Durch die Heißisostatische Presstechnologie (HIP) und das Vakuumentgasungsverfahren kann die Dichte des Zielmaterials effektiv verbessert, die Gasfreisetzungsrate reduziert und die Haftung und Zuverlässigkeit der Folie verbessert werden.

Gleichmäßigkeit und Plappernstabilität

Das Zielmaterial hat eine gleichmäßige Dicke und dichte Struktur, was eine ausgewogene Erosion des Zielmaterials während des Plappernns gewährleistet, abnormale Lichtbogenentladungen reduziert und die Betriebseffizienz der Anlage und die Konsistenz der Filmbildung verbessert.

Integrierte Lösung für Chalkotitan und Titan für kundenspezifische Produktion und Anwendungsunterstützung

Bei Chalcotitanium bieten wir nicht nur hochpräzise, kundenspezifische Titantargets an, sondern helfen unseren Kunden auch dabei, eine effiziente und stabile Dünnschichtabscheidungsproduktion durch Full-Prozess-Services von Design und Entwicklung bis hin zur Anlagenanpassung zu erreichen.

Materialdesign und Sonderentwicklung

Entsprechend den Anforderungen des Kunden an die Beschichtungsleistung helfen wir bei der Auswahl geeigneter Legierungselemente und der Gestaltung der Zusammensetzung und Struktur, um sicherzustellen, dass die angestrebte Materialleistung in hohem Maße mit den Anwendungsanforderungen übereinstimmt.

Schnittstellenstrukturanpassung und Schweißtechnik

Es unterstützt eine Vielzahl von hochzuverlässigen Schweißverfahren (z. B. Diffusionsschweißen und Heißpressschweißen) und kann runde, rechteckige und röhrenförmige Zielstrukturen sowie Kathodenanschlussschnittstellen an unterschiedliche Geräteanforderungen anpassen, um eine nahtlose Abstimmung der Geräte zu erreichen.

Reiche Erfahrung in der Anpassung von Geräten

Wir sind mit den Spezifikationen der gängigen Hersteller von PVD- / CVD-Geräten (wie ULVAC, AJA, Kurt J. Lesker, Singulus usw.) vertraut und können die wichtigsten Parameteranforderungen wie Größe, Elektrodenstruktur und Kühlmethode genau erfüllen.

Rapid Prototyping und Prozesszusammenarbeit

Wir bieten unseren Kunden Rapid-Prototyping-Services und erste Parameterempfehlungen, um Prozessingenieuren dabei zu helfen, die Inbetriebnahme der Anlagen, die Parameteroptimierung und den Chargenbetrieb schnell abzuschließen.

Garantie der Chargenkonsistenz

Durch ein strenges Qualitätskontrollsystem stellen wir die Stabilität der Zielmaterialien in Bezug auf Maßtoleranz, Reinheit und Leistung sicher und erreichen eine langfristig stabile Versorgung.

Chalkotitan Titan Zielprodukt Anwendungsbereiche

Die Titantargets von Chalkotitan werden in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt. Unser Know-how und unsere qualitativ hochwertigen Produkte spielen in den folgenden Branchen eine wichtige Rolle:

Autoglas und WEB-Beschichtung

Autoglas und WEB-Beschichtung

Wir liefern Plapperntargets für Hochleistungs-Architektur-, Automobil-, Photovoltaik-Gläser und Spiegel.

Halbleiter-Materialien

Halbleiter-Materialien

Unsere Verbindungshalbleitermaterialien (99,99 % bis 99,995 % Reinheit) sind in verschiedenen Formen für die fortschrittliche Forschung und Produktion erhältlich.

Verschleißfeste Beschichtung

Verschleißfeste Beschichtung

Verbessert die Verschleißfestigkeit und Lebensdauer von Schneidwerkzeugen, Formen und mechanischen Teilen und steigert so die Effizienz.

Optische Beschichtung

Optische Beschichtung

Unsere optischen Beschichtungen erfüllen strenge Industriestandards und werden in Sonnenbrillen, Scheinwerfern, Filtern und Lasersystemen eingesetzt.

Solar

Solar

Unsere Plapperntargets ermöglichen Dünnschicht-PV-, Solarthermie- und CSP-Systeme für nachhaltige Energie.

Elektronik

Elektronik

Bereitstellung von hochreinen Materialien für die schnell wachsende Elektronikindustrie zur Herstellung von Widerständen, Halbleitern und anderen Komponenten.

Verbindungshalbleitermaterialien

Verbindungshalbleitermaterialien

Ziele aus hochreinem Titan unterstützen die Spitzenforschung und sind ideal für Halbleiter und neue Elektronik.

Dekorative Beschichtung

Dekorative Beschichtung

Wird verwendet, um das Aussehen, die Korrosions- und Kratzfestigkeit zu verbessern; Weit verbreitet in Elektronik, Haushaltsgeräten und Baumaterialien.

Luft- und Raumfahrt

Luft- und Raumfahrt

Titantargets sind korrosions- und oxidationsbeständig und eignen sich ideal für Anwendungen in der Luft- und Raumfahrt in extremen Umgebungen.

Technische Parameter des Zielprodukts Chalkotitan Titan

Um sicherzustellen, dass jede Charge von Titantargets in Bezug auf Leistung, Struktur und Umweltstandards sehr konsistent ist, hält sich Chalkotitan an ein strenges Qualitätsmanagementsystem. Alle unsere Produkte können Materialprüfberichte vorlegen, und einige Produkte haben die RoHS-Umweltzertifizierung bestanden und erfüllen die Systemanforderungen der ISO-Norm. Basierend auf den unterschiedlichen Ausrüstungs- und Anwendungsanforderungen der Kunden können wir Titantargets mit einer Vielzahl von Reinheitsgraden, Legierungszusammensetzungen und physikalischen Leistungsparametern liefern, um die besten Ergebnisse in hochpräzisen Abscheidungsprozessen zu gewährleisten.

Bereich der Produktspezifikationen

Chalkotitan kann Titantargets mit verschiedenen Strukturen und Größen entsprechend den unterschiedlichen Geräte- und Prozessanforderungen der Kunden liefern und Grenzflächenschweißen und Anpassungsdienste für Verbundwerkstoffe unterstützen, um die Prozesskompatibilität und den effizienten Betrieb zu gewährleisten.

ProjektBereich/TypIllustrieren
Ziel-ShapeRund, rechteckig, ringförmig, röhrenförmigKann je nach Gerätestruktur angepasst werden
GrößenbereichDurchmesser: ≤ 450 mm
Dicke: ≤ 40 mmExtra große Größe kann angepasst werden
OberflächenbehandlungBearbeiten, Polieren, Sandstrahlen, einseitige SpiegelbehandlungUnterschiedliche Oberflächenbedingungen je nach Abscheidungsanforderungen bereitstellen
Schweißverfahren für die RückplatteDiffusionsschweißen, Heißdruckschweißen, ExplosionsschweißenHochzuverlässiges Schweißen, geeignet für verschiedene Kathodenverbindungskonstruktionen
Anpassung der SchnittstellenstrukturEinzeltarget, Verbundtarget, T-Typ-Target, eingebaute Kathodenstruktur usw.Unterstützt eine Vielzahl von Kathodengerätekonfigurationen
Einstellbare GenauigkeitstoleranzsteuerungMaßtoleranz ±0,05 mm
Ebenheit ≤ 0,1 mmDie Präzisionsbearbeitung kann nach Kundenzeichnung durchgeführt werden

Chemische Zusammensetzung des Targets aus reinem Titan (Ergebnisse der GDMS-Analyse)

Typische Analyse für 99,995% Reinheit, Analyse mittels GDMS
ElementPpmElementPpm
Li<0.01Nb<0.2
Be<0.005Mo<0.5
B<0.01Ru<0.01
Na<0.01R<0.05
Mg0.05Pd<0.01
Al0.01Ag<0.05
Si0.21Cd<0.05
P<0.01In<0.05
S0.02Sn<0.05
K<0.01Sb<0.05
Ca<0.2Te<0.05
Sc<0.05Ba<0.005
V0.01Ce<0.005
Cr0.06Hf<0.01
Mn0.06Ta< 2
Fe1.5W<0.01
Co<0.01Re<0.01
Ni0.16Os<0.01
Cu0.2Ir<0.01
Zn<0.05Pt<0.05
Ga<0.05Au<0.05
Ge<0.05Hg<0.1
As0.02Pb<0.01
Se<0.05Bi<0.01
Zr<0.05Th<0.0001

Physikalische Leistungsparameter (Richtwerte)

Projekt Einheit Index (industrielles Reintitan)
Dichteg/cm³4.51
WiderstandsgrößeμΩ·cm42~48
HärteHV140~160
Kontrolle der Korngrößeμm≤ 50 (anpassbar)
Dichte%≥ 99,5
OberflächenrauheitRa (μm)≤ 0,3 (einseitig polieren)

Hinweis: Die spezifische Zusammensetzung und die Leistungsparameter von Titanlegierungstargets können je nach Kundenwunsch angepasst werden. Für Details kontaktieren Sie uns bitte, um detaillierte Formeln und Testberichte zu erhalten.

Technische Parametertabelle für Titan-Zielmaterial

ArtikelEinheitSpezifikation
MaterialartTitan
SymbolTi
Atomgewicht47.867
Ordnungszahl22
Farbe/AussehenSilbrig Metallic
WärmeleitfähigkeitW/m·K21.9
Schmelzpunkt (°C)°C1,660
Thermischer Ausdehnungskoeffizientx 10⁻⁶/K8.6
Theoretische Dichte (g/cm³)g/cm³4.5
Z-Verhältnis0.628
PlappernDC
Maximale LeistungsdichteW/Quadratzoll50*
Art der AnleiheIndium, Elastomer
KommentareLegierungen mit W/Ta/Mo; Entwickelt Gas bei der ersten Erhitzung.

Service und Support: FAQ zum Kauf von Titantargets

Titan Zielkauf, Verpackung und Lieferung

Um die Sicherheit und Unversehrtheit des Ziels während des Transports zu gewährleisten, verwenden wir mehrere Verpackungsmethoden aus antistatischen Beuteln + Schaumstoffpolstern + robusten Holzkisten, die für inländische und externe Transportstandards geeignet sind. Wir unterstützen verschiedene Logistikmethoden wie Lufttransport, Seetransport und Expresslieferung. Der Lieferzyklus wird je nach Produktart und Menge flexibel gestaltet und kann innerhalb von maximal 7 Werktagen am schnellsten versendet werden.

Wie wählt man die richtige Art von Titantarget aus?

Sie können je nach Beschichtungsprozess, Leistungsart (DC oder RF), Geräteschnittstellenstruktur und anderen Faktoren wählen. Wir bieten auch Auswahlvorschläge und technische Beratungsleistungen.

Stellen Sie Testberichte von Drittanbietern zur Verfügung?

Ja, wir können auf Anfrage SGS-, RoHS-, ISO- und andere verwandte Prüf- und Zertifizierungsberichte zur Verfügung stellen, um sicherzustellen, dass die Produkte die Anforderungen des Kunden an das Qualitätssystem erfüllen.

Worauf ist bei der Lagerung und Pflege von Titantargets zu achten?

Bitte in einer trockenen und belüfteten Umgebung lagern, um direkten Kontakt mit Wasserdampf und korrosiven Gasen zu vermeiden. Es wird empfohlen, die unbenutzten Targets in der versiegelten Originalverpackung aufzubewahren.

Können Sie Muster oder Versuche zur Verfügung stellen?

Unterstützen Sie kleine Chargenmuster und schnelle Proofing-Services, um Kunden dabei zu helfen, Prozesstests so schnell wie möglich abzuschließen.

Erhalten Sie exklusive Lösungen

Ganz gleich, ob Sie auf der Suche nach stabilen und effizienten Standard-Titantargets sind oder kundenspezifische Produkte mit besonderen Eigenschaften benötigen, Chalkotitan kann Sie zuverlässig unterstützen.

Kontaktieren Sie unsere technischen Berater, um Produktdetails, Proofing-Lösungen und maßgeschneiderte Angebote zu erhalten.

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