Alvos de titânio: nascidos para revestimentos de alto desempenho
No processo de revestimento a vácuo PVD, os alvos de titânio tornaram-se os principais materiais para muitos campos de alta precisão, como semicondutores, óptica, decoração e revestimentos de ferramentas devido à sua excelente pureza, densidade e estabilidade em altas temperaturas. Fornecemos alvos de titânio em várias especificações e formas estruturais, abrangendo soluções de titânio e ligas de titânio de alta pureza para atender aos diversos requisitos de desempenho, tamanho e compatibilidade dos clientes.
- Alvo de titânio de alta pureza: pureza de até 99,99 5%, adequado para camadas de semicondutores e filmes funcionais;
- Alvo de liga de titânio personalizado: alumínio, cromo, zircônio, molibdênio e outros elementos podem ser adicionados conforme necessário para melhorar o desempenho da camada de filme;
- Várias formas de produtos: alvos planos, alvos tubulares, alvos redondos e alvos catódicos estão disponíveis;
- Suporta processos PVD convencionais, como pulverização catódica de magnetron reativo e evaporação de arco (clique para ver os parâmetros técnicos do alvo de titânio)
Tipos de produtos-alvo de pulverização catódica de calcotitânio
- Alvo redondo
Compatível com a maioria dos revestidores, disponível em vários tamanhos e amplamente utilizado em revestimentos ópticos e duros.
Diameter <350mm; Thickness>1mm
- Alvo retangular
Adequado para aplicações que requerem revestimento de grandes áreas. Alvos retangulares podem fornecer resultados de revestimento mais uniformes.
Comprimento 1800mm; Largura 400mm
- Alvo tubular
Ideal para sistemas de alvo rotativos, oferecendo revestimentos uniformes para aplicações decorativas e resistentes ao desgaste de alta temperatura.
Diâmetro externo 20mm ~ 160mm; Espessura da parede 2-20mm
- Alvo personalizado
Oferecemos alvos de titânio totalmente personalizados em diferentes ligas e tamanhos específicos com base nas necessidades de aplicação de nossos clientes.
Diâmetro externo personalizado>160; Espessura>8mm
Personalização da liga alvo de titânio calcotitânio
Os produtos-alvo de titânio calcotitânio incluem alvos de titânio puro, alvos de liga de titânio de alto desempenho e alvos de materiais especiais, como dióxido de titânio (TiO ₂) e alvos de TiC, para atender aos requisitos de diferentes aplicações de revestimento.
Além disso, com nossa profunda experiência no campo de alvos de titânio, também podemos misturar diferentes elementos metálicos e personalizar a composição da liga de acordo com as necessidades específicas dos clientes, garantindo que o desempenho de cada alvo de liga atinja o melhor efeito na aplicação do cliente.
Alvo de titânio puro
Fornecemos alvos de titânio puro de várias especificações, abrangendo duas categorias: titânio de grau industrial e titânio de alta pureza, que são amplamente utilizados em campos de deposição de filme fino de alta precisão, como semicondutores, óptica, decoração e tratamento médico. Os alvos industriais de titânio puro (Grau 1 ~ 4) têm excelente estabilidade química e resistência à corrosão, enquanto os alvos de titânio de alta pureza podem atingir 99,99% e 99,995% de pureza, com teor de impurezas extremamente baixo e microestrutura uniforme, e são particularmente adequados para aplicações com requisitos extremamente altos de pureza do filme.
- Indústria de semicondutores (eletrodos metálicos, camadas de barreira)
- Revestimento óptico (espelhos, filtros ópticos)
- Revestimento decorativo (caixa de celular, armações de óculos, etc.)
- Dispositivos médicos (implantes, tratamento de superfície de dispositivos)
- Nanoeletrônica e filmes finos funcionais
- 99,99% de meta de TI de alta pureza
- 99,995% de pureza ultra-alta
- Titânio CP de grau 1
- Titânio CP grau 2
- Titânio CP grau 3
- Titânio CP grau 4
Alvos de materiais especiais
Além do titânio puro industrial, também fornecemos uma variedade de materiais especiais de titânio, incluindo dióxido de titânio (TiO ₂), titânio alumínio (Ti-Al), titânio silício (Ti-Si), etc., adequados para requisitos especiais de aplicação. Esses materiais têm excelentes propriedades ópticas, resistência à oxidação, dureza e outras características, e são amplamente utilizados em revestimentos ópticos, células solares, revestimentos duros e outros campos.
- Alvo de dióxido de titânio (TiO₂)
Com uma pureza de 99,99%, o dióxido de titânio é um material alvo comum valorizado por sua excelente transparência óptica e estabilidade química. É amplamente aplicado em revestimentos ópticos, materiais fotocatalíticos e na indústria solar fotovoltaica.
- Alvo de carboneto de titânio (TiC)
Os alvos de carboneto de titânio apresentam dureza e resistência ao desgaste extremamente altas, tornando-os ideais para revestimentos duros, superfícies protetoras e aplicações em microeletrônica.
- Alvo de nitreto de titânio (TiN)
O nitreto de titânio oferece uma combinação única de brilho metálico, condutividade elétrica e resistência ao desgaste. É comumente usado em revestimentos decorativos, revestimentos duros duráveis e como camadas de barreira em dispositivos microeletrônicos.
Alvo de liga de titânio
A Chalcotitanium fornece uma ampla gama de serviços de alvo de titânio de liga personalizada. De acordo com seus requisitos específicos, podemos ajustar a composição da liga adicionando elementos como alumínio, tântalo, molibdênio, tungstênio, etc. para otimizar propriedades como resistência à corrosão, resistência, resistência a altas temperaturas, dureza, etc. Nossas soluções de alvo de titânio de liga personalizada garantem que elas possam atender às suas necessidades exclusivas em várias deposições de filmes finos.
- Ferramentas revestidas: Melhore a resistência ao desgaste das ferramentas e prolongue sua vida útil.
- Revestimento de alta temperatura: para ferramentas e peças em ambientes de alta temperatura.
- Revestimentos de equipamentos eletrônicos: Melhoram a durabilidade e a resistência à corrosão.
- Alvo e cátodo da liga Ti-Al
Os materiais de cátodo e alvo de titânio-alumínio permitem a formação de revestimentos de nitreto duros e resistentes à oxidação (TiAlN) em brocas, fresas, pastilhas intercambiáveis e outras ferramentas.
- Alvo de liga Ti-Nb
A liga de titânio-nióbio tem boa resistência a altas temperaturas e é adequada para ambientes de aplicação em alta temperatura.
- Alvo de liga Ti-W
A liga de titânio e tungstênio tem boa resistência à oxidação e estabilidade em altas temperaturas e é frequentemente usada em aplicações de revestimento em ambientes de alta temperatura.
- Alvo de liga de Ti-Si
As ligas de titânio silício têm maior dureza e resistência ao desgaste e são amplamente utilizadas em revestimentos de ferramentas e moldes.
- Alvo de liga Ti-Ta
Maior resistência à oxidação e corrosão, adequada para filmes em ambientes agressivos
- Alvo de liga Ti-Mo
Com alta resistência e excelente resistência à corrosão, é adequado para revestimento de componentes eletrônicos
Vantagens do produto: desempenho de pulverização catódica e vantagens de microcontrole
Estrutura de grão
Ao otimizar os processos de fusão, forjamento e tratamento térmico, uma estrutura de grão uniforme e fino pode ser alcançada, o que ajuda a melhorar a taxa de pulverização catódica e a consistência do filme e garantir um desempenho estável do filme.
Garantia de pureza
Fornecemos alvos de titânio de alta pureza de até 99,995%, com impurezas controladas no nível de ppb, atendendo aos requisitos de pureza extremamente altos dos níveis ópticos e de semicondutores e evitando contaminação e defeitos do filme.
Tratamento de alta densidade e desgaseificação (controle de densificação e desgaseificação)
Através da tecnologia de prensagem isostática a quente (HIP) e do processo de desgaseificação a vácuo, a densidade do material alvo pode ser efetivamente melhorada, a taxa de liberação de gás pode ser reduzida e a adesão e confiabilidade do filme podem ser melhoradas.
Uniformidade e estabilidade ao sputtering
O material alvo tem espessura uniforme e estrutura densa, o que garante a erosão equilibrada do material alvo durante a pulverização catódica, reduz a descarga anormal do arco e melhora a eficiência da operação do equipamento e a consistência da formação do filme.
Alvo de titânio calcotitânio solução integrada de produção personalizada e suporte a aplicações
Na Chalcotitanium, não apenas fornecemos alvos de titânio personalizados e de alta precisão, mas também ajudamos os clientes a obter uma produção de deposição de filme fino eficiente e estável por meio de serviços de processo completo, desde o projeto e desenvolvimento até a adaptação do equipamento.
Design de materiais e desenvolvimento personalizado
De acordo com os requisitos de desempenho de revestimento do cliente, auxiliamos na seleção de elementos de liga apropriados e no projeto da composição e estrutura para garantir que o desempenho do material alvo seja altamente compatível com os requisitos da aplicação.
Personalização da estrutura da interface e tecnologia de soldagem
Ele suporta uma variedade de métodos de soldagem de alta confiabilidade (como soldagem por difusão e soldagem por prensagem a quente) e pode personalizar estruturas de alvo circulares, retangulares e tubulares e interfaces de conexão catódica de acordo com diferentes requisitos de equipamento para obter uma combinação perfeita de equipamentos.
Rica experiência em adaptação de equipamentos
Estamos familiarizados com as especificações dos principais fabricantes de equipamentos PVD / CVD (como ULVAC, AJA, Kurt J. Lesker, Singulus, etc.) e podemos atender com precisão aos principais requisitos de parâmetros, como tamanho, estrutura do eletrodo e método de resfriamento.
Prototipagem rápida e colaboração de processos
Fornecemos aos clientes serviços de prototipagem rápida e recomendações iniciais de parâmetros para ajudar os engenheiros de processo a concluir rapidamente o comissionamento do equipamento, a otimização de parâmetros e a operação em lote.
Garantia de consistência de lote
Por meio de um rigoroso sistema de controle de qualidade, garantimos a estabilidade dos materiais-alvo em termos de tolerância dimensional, pureza e desempenho e alcançamos um fornecimento estável a longo prazo.
Áreas de cooperação de aplicação do produto alvo de titânio calcotitânio
Os alvos de titânio do calcotitânio são amplamente utilizados em uma variedade de indústrias. Nossa experiência e produtos de alta qualidade desempenham um papel vital nas seguintes indústrias:
Vidro automotivo e revestimento WEB
Fornecimento de alvos de pulverização catódica para vidros arquitetônicos, automotivos, fotovoltaicos e espelhos de alto desempenho.
Materiais semicondutores
Nossos materiais semicondutores compostos (99,99% a 99,995% de pureza) vêm em várias formas para pesquisa e produção avançadas.
Revestimento resistente ao desgaste
Aumenta a resistência ao desgaste e a vida útil das ferramentas de corte, moldes e peças mecânicas, aumentando a eficiência.
Revestimento óptico
Nossos revestimentos ópticos atendem aos rígidos padrões da indústria e são usados em óculos de sol, faróis, filtros e sistemas a laser.
Solar
Nossas metas de pulverização catódica permitem sistemas fotovoltaicos de filme fino, solares térmicos e CSP para energia sustentável.
Eletrônica
Fornecendo materiais de alta pureza para a indústria eletrônica em rápido crescimento para produzir resistores, semicondutores e outros componentes.
Materiais semicondutores compostos
Os alvos de titânio de alta pureza suportam pesquisas avançadas e são ideais para semicondutores e novos eletrônicos.
Reboco decorativo
Usado para melhorar a aparência, corrosão e resistência a arranhões; amplamente aplicado em eletrônicos, eletrodomésticos e materiais de construção.
Aeroespaço
Os alvos de titânio resistem à corrosão e à oxidação, ideais para aplicações aeroespaciais em ambientes extremos.
Parâmetros técnicos do produto-alvo de titânio calcotitânio
Para garantir que cada lote de alvos de titânio seja altamente consistente em desempenho, estrutura e padrões ambientais, a Chalcotitanium adere a um rigoroso sistema de gestão de qualidade. Todos os nossos produtos podem fornecer relatórios de teste de materiais, e alguns produtos passaram pela certificação ambiental RoHS e atendem aos requisitos do sistema padrão ISO. Com base nos diferentes requisitos de equipamentos e aplicações dos clientes, podemos fornecer alvos de titânio com uma variedade de níveis de pureza, composições de liga e parâmetros de desempenho físico para garantir os melhores resultados em processos de deposição de alta precisão.
Faixa de especificações do produto
A Chalcotitanium pode fornecer alvos de titânio com várias estruturas e tamanhos de acordo com os diferentes requisitos de equipamentos e processos dos clientes, e oferecer suporte a serviços de soldagem de interface e personalização de compostos para garantir a compatibilidade do processo e operação eficiente.
| Projeto | Faixa/Tipo | Ilustrar |
|---|---|---|
| Forma de destino | Redondo, retangular, anel, tubular | Pode ser personalizado de acordo com a estrutura do equipamento |
| Faixa de tamanho | Diâmetro: ≤ 450 mm | |
| Espessura: ≤ 40 mm | O tamanho extra-grande pode ser personalizado | |
| Tratamento de superfície | Usinagem, polimento, jateamento, tratamento de espelho de um lado | Fornecer diferentes condições de superfície de acordo com os requisitos de deposição |
| Método de soldagem da placa traseira | Soldagem por difusão, soldagem por pressão a quente, soldagem por explosão | Soldagem de alta confiabilidade, adequada para várias estruturas de conexão catódica |
| Personalização da estrutura da interface | Alvo único, alvo composto, alvo tipo T, estrutura embutida do cátodo, etc. | Suporta uma variedade de configurações de equipamentos catódicos |
| Controle de tolerância de precisão correspondente | Tolerância dimensional ±0,05 mm | |
| Planicidade ≤ 0,1 mm | O processamento de precisão pode ser realizado de acordo com os desenhos do cliente |
Composição química do alvo de titânio puro (resultados da análise GDMS)
| Análise típica para 99,995% de pureza, análise por GDMS | |||
|---|---|---|---|
| Elemento | Ppm | Elemento | Ppm |
| Li | <0.01 | Nb | <0.2 |
| Be | <0.005 | Mo | <0.5 |
| B | <0.01 | Ru | <0.01 |
| Na | <0.01 | R | <0.05 |
| Mg | 0.05 | Pd | <0.01 |
| Al | 0.01 | Ag | <0.05 |
| Si | 0.21 | Cd | <0.05 |
| P | <0.01 | In | <0.05 |
| S | 0.02 | Sn | <0.05 |
| K | <0.01 | Sb | <0.05 |
| Ca | <0.2 | Te | <0.05 |
| Sc | <0.05 | Ba | <0.005 |
| V | 0.01 | Ce | <0.005 |
| Cr | 0.06 | Hf | <0.01 |
| Mn | 0.06 | Ta | < 2 |
| Fe | 1.5 | W | <0.01 |
| Co | <0.01 | Re | <0.01 |
| Ni | 0.16 | Os | <0.01 |
| Cu | 0.2 | Ir | <0.01 |
| Zn | <0.05 | Pt | <0.05 |
| Ga | <0.05 | Au | <0.05 |
| Ge | <0.05 | Hg | <0.1 |
| As | 0.02 | Pb | <0.01 |
| Se | <0.05 | Bi | <0.01 |
| Zr | <0.05 | Th | <0.0001 |
Parâmetros de desempenho físico (valores de referência)
| Projeto | Unidade | Índice (titânio puro industrial) |
|---|---|---|
| densidade | ³ de g/cm | 4.51 |
| Resistividade | μΩ·cm | 42~48 |
| dureza | HV | 140~160 |
| Controle de tamanho de grão | μm | ≤ 50 (personalizável) |
| Densidade | % | ≥ 99,5 |
| Rugosidade da superfície | Ra (μm) | ≤ 0,3 (polimento de um lado) |
Nota: Os parâmetros específicos de composição e desempenho dos alvos de liga de titânio podem ser personalizados de acordo com os requisitos do cliente. Para obter detalhes, entre em contato conosco para obter fórmulas detalhadas e relatórios de teste.
Tabela de parâmetros técnicos do material alvo de titânio
| Item | Unidade | Especificação |
|---|---|---|
| Tipo de material | Titânio | |
| Símbolo | Ti | |
| Peso atômico | 47.867 | |
| Número atômico | 22 | |
| Cor/Aparência | Metálico prateado | |
| Condutividade térmica | W/m·K | 21.9 |
| Ponto de fusão (°C) | °C | 1,660 |
| Coeficiente de Expansão Térmica | x 10⁻⁶/K | 8.6 |
| Densidade teórica (g/cc) | ³ de g/cm | 4.5 |
| Relação Z | 0.628 | |
| Sputter | DC | |
| Densidade máxima de potência | W / polegada quadrada | 50* |
| Tipo de Ligação | Índio, Elastômero | |
| Comentários | Ligas com W/Ta/Mo; Evolui gás no primeiro aquecimento. |
Serviço e suporte: Perguntas frequentes sobre a compra de alvos de titânio
Embalagem e entrega de compra alvo de titânio
Para garantir a segurança e integridade do alvo durante o transporte, usamos vários métodos de embalagem de sacos antiestáticos + amortecimento de espuma + caixas de madeira resistentes, adequadas para padrões de transporte doméstico e de exportação. Oferecemos suporte a vários métodos de logística, como transporte aéreo, transporte marítimo e entrega expressa. O ciclo de entrega é organizado de forma flexível de acordo com o tipo e quantidade do produto, e pode ser enviado dentro de 7 dias úteis no máximo.
Como escolher o tipo certo de alvo de titânio?
Você pode escolher de acordo com seu processo de revestimento, tipo de energia (DC ou RF), estrutura da interface do equipamento e outros fatores. Também fornecemos sugestões de seleção e serviços de consultoria técnica.
Você fornece relatórios de teste de terceiros?
Sim, podemos fornecer SGS, RoHS, ISO e outros relatórios de teste e certificação relacionados mediante solicitação para garantir que os produtos atendam aos requisitos do sistema de qualidade do cliente.
O que devemos prestar atenção ao armazenar e manter alvos de titânio?
Armazene em ambiente seco e ventilado para evitar o contato direto com vapor de água e gases corrosivos. Recomenda-se manter os alvos não utilizados na embalagem original lacrada.
Você pode fornecer amostras ou ensaios?
Ofereça suporte a amostras de pequenos lotes e serviços de prova rápida para ajudar os clientes a concluir os testes de processo o mais rápido possível.
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