Cibles en titane : né pour les revêtements haute performance

Spécialisé dans les cibles en titane haute pureté personnalisées pour PVD/CVD, compatibles avec divers équipements. Offre une conception, un soudage et une livraison d’alliage à guichet unique.

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Dans le processus de revêtement sous vide PVD, les cibles en titane sont devenues les matériaux de base de nombreux domaines de haute précision tels que les semi-conducteurs, l’optique, la décoration et les revêtements d’outils en raison de leur excellente pureté, de leur densité et de leur stabilité à haute température. Nous fournissons des cibles en titane dans diverses spécifications et formes structurelles, couvrant le titane de haute pureté et les solutions en alliage de titane pour répondre aux diverses exigences des clients en matière de performances, de taille et de compatibilité.

Cible en titane de haute pureté : pureté jusqu’à 99,99 5 %, adaptée aux couches de semi-conducteurs et de films fonctionnels ;
Cible en alliage de titane personnalisée : l’aluminium, le chrome, le zirconium, le molybdène et d’autres éléments peuvent être ajoutés au besoin pour améliorer les performances de la couche de film ;
Différentes formes de produits : cibles plates, cibles à tube, cibles rondes et cibles cathodiques sont toutes disponibles ;
Prend en charge les procédés PVD courants tels que la pulvérisation magnétron réactive et l’évaporation de l’arc (cliquez pour voir les paramètres techniques de la cible en titane)

Chalcotitanium pulvérisation cathodique types de produits cibles

Cible ronde

Compatible avec la plupart des coucheuses, disponible en différentes tailles et largement utilisé dans les revêtements optiques et durs.
Diameter <350mm; Thickness>1mm
Cible rectangulaire

Convient aux applications qui nécessitent un revêtement de grande surface. Les cibles rectangulaires peuvent fournir des résultats de revêtement plus uniformes.
Longueur 1800mm ; Largeur 400mm
Cible tubulaire

Idéal pour les systèmes de cibles rotatives, offrant des revêtements uniformes pour les applications décoratives et résistantes à l’usure à haute température.
Diamètre extérieur 20 mm ~ 160 mm ; Épaisseur de paroi 2-20mm
Cible personnalisée

Nous proposons des cibles en titane entièrement personnalisées dans différents alliages et tailles spécifiques en fonction des besoins d’application de nos clients.
Diamètre extérieur personnalisé>160 ; Épaisseur >8 mm

Personnalisation de l’alliage cible de titane Chalcotitanium

Les produits cibles en titane Chalcotitanium comprennent des cibles en titane pur, des cibles en alliage de titane haute performance et des cibles en matériaux spéciaux, telles que le dioxyde de titane (TiO ₂) et les cibles TiC, pour répondre aux exigences de différentes applications de revêtement.

De plus, grâce à notre expérience approfondie dans le domaine des cibles en titane, nous pouvons également mélanger différents éléments métalliques et personnaliser la composition de l’alliage en fonction des besoins spécifiques des clients, en veillant à ce que les performances de chaque cible d’alliage atteignent le meilleur effet dans l’application du client.

Cible en titane pur

Nous fournissons des cibles en titane pur de différentes spécifications, couvrant deux catégories : le titane de qualité industrielle et le titane de haute pureté, qui sont largement utilisés dans les domaines du dépôt de couches minces de haute précision tels que les semi-conducteurs, l’optique, la décoration et le traitement médical. Les cibles industrielles en titane pur (grade 1 ~ 4) ont une excellente stabilité chimique et une résistance à la corrosion, tandis que les cibles en titane de haute pureté peuvent atteindre une pureté de 99,99 % et 99,995 %, avec une teneur en impuretés extrêmement faible et une microstructure uniforme, et sont particulièrement adaptées aux applications avec des exigences extrêmement élevées en matière de pureté du film.

Industrie des semi-conducteurs (électrodes métalliques, couches barrières)
Revêtement optique (miroirs, filtres optiques)
Revêtement décoratif (boîtier de téléphone portable, montures de lunettes, etc.)
Dispositifs médicaux (implants, traitement de surface de dispositif)
Nanoélectronique et couches minces fonctionnelles

99,99 % haute pureté Ti Target
99,995 % ultra-haute pureté
Titane CP grade 1
Titane CP grade 2
Titane CP grade 3
Titane CP grade 4

Cibles spéciales

En plus du titane pur industriel, nous fournissons également une variété de matériaux cibles spéciaux en titane, notamment le dioxyde de titane (TiO ₂), le titane aluminium (Ti-Al), le silicium titane (Ti-Si), etc., adaptés aux exigences d’applications spéciales. Ces matériaux ont d’excellentes propriétés optiques, une résistance à l’oxydation, une dureté et d’autres caractéristiques, et sont largement utilisés dans les revêtements optiques, les cellules solaires, les revêtements durs et d’autres domaines.

Cible de dioxyde de titane (TiO₂)
Avec une pureté de 99,99 %, le dioxyde de titane est un matériau cible courant apprécié pour son excellente transparence optique et sa stabilité chimique. Il est largement appliqué dans les revêtements optiques, les matériaux photocatalytiques et l’industrie solaire photovoltaïque.
Cible en carbure de titane (TiC)
Les cibles en carbure de titane présentent une dureté et une résistance à l’usure extrêmement élevées, ce qui les rend idéales pour les revêtements durs, les surfaces protectrices et les applications en microélectronique.
Cible en nitrure de titane (TiN)
Le nitrure de titane offre une combinaison unique de lustre métallique, de conductivité électrique et de résistance à l’usure. Il est couramment utilisé dans les revêtements décoratifs, les revêtements durs durables et comme couches barrières dans les dispositifs microélectroniques.

Cible en alliage de titane

Chalcotitanium fournit une large gamme de services de cibles en titane d’alliage personnalisé. Selon vos besoins spécifiques, nous pouvons ajuster la composition de l’alliage en ajoutant des éléments tels que l’aluminium, le tantale, le molybdène, le tungstène, etc. pour optimiser les propriétés telles que la résistance à la corrosion, la résistance, la résistance aux hautes températures, la dureté, etc. Nos solutions de cibles en titane en alliage personnalisé garantissent qu’elles peuvent répondre à vos besoins uniques en matière de dépôt de couches minces.

Outils revêtus : Améliorez la résistance à l’usure des outils et prolongez leur durée de vie.
Revêtement haute température : pour les outils et les pièces dans des environnements à haute température.
Revêtements d’équipements électroniques : Améliorent la durabilité et la résistance à la corrosion.

Cible et cathode en alliage Ti-Al
Les matériaux de cible et de cathode en titane-aluminium permettent la formation de revêtements nitrurés durs et résistants à l’oxydation (TiAlN) sur les forets, les fraises, les plaquettes amovibles et autres outils.
Cible en alliage Ti-Nb
L’alliage titane-niobium a une bonne résistance aux hautes températures et convient aux environnements d’application à haute température.
Cible en alliage Ti-W
L’alliage de titane et de tungstène a une bonne résistance à l’oxydation et une stabilité à haute température et est souvent utilisé dans les applications de revêtement dans des environnements à haute température.
Cible en alliage Ti-Si
Les alliages de titane et de silicium ont une dureté et une résistance à l’usure améliorées et sont largement utilisés dans les revêtements d’outils et de moules.
Cible en alliage Ti-Ta
Résistance accrue à l’oxydation et à la corrosion, adaptée aux films dans des environnements difficiles
Cible en alliage Ti-Mo
Avec une résistance élevée et une excellente résistance à la corrosion, il convient au revêtement de composants électroniques

Cible en alliage de titane

Avantages du produit : performances de pulvérisation et avantages du micro-contrôle

Structure du grain

En optimisant les processus de fusion, de forgeage et de traitement thermique, il est possible d’obtenir une structure de grain uniforme et fine, ce qui contribue à améliorer le taux de pulvérisation et la consistance du film et à assurer des performances stables du film.

Assurance de pureté

Nous fournissons des cibles en titane de haute pureté jusqu’à 99,995 %, avec des impuretés contrôlées au niveau du ppb, répondant aux exigences de pureté extrêmement élevées des semi-conducteurs et des niveaux optiques et évitant la contamination et les défauts du film.

Traitement haute densité et dégazage (contrôle de la densification et du dégazage)

Grâce à la technologie de pressage isostatique à chaud (HIP) et au processus de dégazage sous vide, la densité du matériau cible peut être efficacement améliorée, le taux de libération de gaz peut être réduit et l’adhérence et la fiabilité du film peuvent être améliorées.

Uniformité et stabilité de pulvérisation

Le matériau cible a une épaisseur uniforme et une structure dense, ce qui assure une érosion équilibrée du matériau cible pendant la pulvérisation, réduit la décharge anormale de l’arc et améliore l’efficacité du fonctionnement de l’équipement et la cohérence de la formation du film.

Solution intégrée de production et de support d’application personnalisées pour cible en titane Chalcotitanium

Chez Chalcotitanium, nous fournissons non seulement des cibles en titane personnalisées de haute précision, mais nous aidons également nos clients à produire des dépôts de couches minces efficaces et stables grâce à des services de processus complets, de la conception et du développement à l’adaptation de l’équipement.

Conception matérielle et développement sur mesure

Selon les exigences de performance du revêtement du client, nous aidons à sélectionner les éléments d’alliage appropriés et à concevoir la composition et la structure pour garantir que les performances du matériau cible correspondent parfaitement aux exigences de l’application.

Personnalisation de la structure de l’interface et technologie de soudage

Il prend en charge une variété de méthodes de soudage haute fiabilité (telles que le soudage par diffusion et le soudage par pressage à chaud) et peut personnaliser les structures cibles circulaires, rectangulaires et tubulaires et les interfaces de connexion de cathode en fonction des différentes exigences de l’équipement pour obtenir une correspondance transparente de l’équipement.

Riche expérience dans l’adaptation d’équipements

Nous connaissons les spécifications des principaux fabricants d’équipements PVD / CVD (tels que ULVAC, AJA, Kurt J. Lesker, Singulus, etc.) et pouvons répondre avec précision aux exigences de paramètres clés telles que la taille, la structure de l’électrode et la méthode de refroidissement.

Prototypage rapide et collaboration sur les processus

Nous fournissons à nos clients des services de prototypage rapide et des recommandations initiales de paramètres pour aider les ingénieurs de procédés à réaliser rapidement la mise en service de l’équipement, l’optimisation des paramètres et le fonctionnement par lots.

Garantie de cohérence des lots

Grâce à un système de contrôle de qualité strict, nous assurons la stabilité des matériaux cibles en termes de tolérance dimensionnelle, de pureté et de performance, et obtenons un approvisionnement stable à long terme.

Domaines de coopération d’application du titane Chalcotitanium

Les cibles en titane du chalcotitane sont largement utilisées dans une variété d’industries. Notre expertise et nos produits de haute qualité jouent un rôle essentiel dans les industries suivantes :

Verre automobile et revêtement WEB

Fournir des cibles de pulvérisation pour l’architecture, l’automobile, le verre photovoltaïque et les miroirs haute performance.

Matériaux semi-conducteurs

Nos matériaux semi-conducteurs composés (pureté de 99,99 % à 99,995 %) se présentent sous diverses formes pour la recherche et la production avancées.

Revêtement résistant à l’usure

Améliore la résistance à l’usure et la durée de vie des outils de coupe, des moules et des pièces mécaniques, augmentant ainsi l’efficacité.

Revêtement optique

Nos revêtements optiques répondent à des normes industrielles strictes et sont utilisés dans les lunettes de soleil, les phares, les filtres et les systèmes laser.

Solaire

Nos cibles de pulvérisation permettent d’utiliser des systèmes photovoltaïques, solaires thermiques et CSP à couche mince pour une énergie durable.

Électronique

Fournir des matériaux de haute pureté à l’industrie électronique en pleine croissance pour produire des résistances, des semi-conducteurs et d’autres composants.

Matériaux semi-conducteurs composés

Les cibles en titane de haute pureté soutiennent la recherche avancée et sont idéales pour les semi-conducteurs et les nouveaux appareils électroniques.

Revêtement décoratif

Utilisé pour améliorer l’apparence, la résistance à la corrosion et aux rayures ; Largement utilisé dans l’électronique, les appareils électroménagers et les matériaux de construction.

Aérospatial

Les cibles en titane résistent à la corrosion et à l’oxydation, ce qui est idéal pour les applications aérospatiales dans des environnements extrêmes.

Paramètres techniques du produit cible en titane Chalcotitanium

Pour s’assurer que chaque lot de cibles en titane est hautement cohérent en termes de performances, de structure et de normes environnementales, Chalcotitanium adhère à un système de gestion de la qualité strict. Tous nos produits peuvent fournir des rapports d’essai de matériaux, et certains produits ont passé la certification environnementale RoHS et répondent aux exigences du système de la norme ISO. Sur la base des différentes exigences d’équipement et d’application des clients, nous pouvons fournir des cibles en titane avec une variété de niveaux de pureté, de compositions d’alliage et de paramètres de performance physique pour garantir les meilleurs résultats dans les processus de dépôt de haute précision.

Caractéristiques du produit gamme

Chalcotitanium peut fournir des cibles en titane avec différentes structures et tailles en fonction des différents équipements et exigences de processus des clients, et prendre en charge les services de soudage d’interface et de personnalisation des composites pour assurer la compatibilité des processus et un fonctionnement efficace.

Projet	Gamme/Type	Illustrer
Forme cible	Rond, rectangulaire, annulaire, tubulaire	Peut être personnalisé en fonction de la structure de l’équipement
Gamme de tailles	Diamètre : ≤ 450 mm
Epaisseur : ≤ 40 mm	La taille extra-large peut être personnalisée
Traitement de surface	Usinage, polissage, sablage, traitement miroir simple face	Fournir différentes conditions de surface en fonction des exigences de dépôt
Méthode de soudage de la plaque arrière	Soudage par diffusion, soudage à chaud, soudage par explosion	Soudage de haute fiabilité, adapté à diverses structures de connexion cathodique
Personnalisation de la structure de l’interface	Cible unique, cible composite, cible de type T, structure intégrée de cathode, etc.	Prend en charge une variété de configurations d’équipements de cathode
Contrôle de tolérance de précision adapté	Tolérance dimensionnelle ±0,05 mm
Planéité ≤ 0,1 mm	L’usinage de précision peut être effectué selon les dessins du client

Composition chimique de la cible en titane pur (résultats d’analyse GDMS)

Analyse typique pour une pureté de 99,995 %, analyse par GDMS
Élément	Ppm	Élément	Ppm
Li	<0.01	Nb	<0.2
Be	<0.005	Mo	<0.5
B	<0.01	Ru	<0.01
Na	<0.01	R	<0.05
Mg	0.05	Pd	<0.01
Al	0.01	Ag	<0.05
Si	0.21	Cd	<0.05
P	<0.01	In	<0.05
S	0.02	Sn	<0.05
K	<0.01	Sb	<0.05
Ca	<0.2	Te	<0.05
Sc	<0.05	Ba	<0.005
V	0.01	Ce	<0.005
Cr	0.06	Hf	<0.01
Mn	0.06	Ta	< 2
Fe	1.5	W	<0.01
Co	<0.01	Re	<0.01
Ni	0.16	Os	<0.01
Cu	0.2	Ir	<0.01
Zn	<0.05	Pt	<0.05
Ga	<0.05	Au	<0.05
Ge	<0.05	Hg	<0.1
As	0.02	Pb	<0.01
Se	<0.05	Bi	<0.01
Zr	<0.05	Th	<0.0001

Paramètres de performance physique (valeurs de référence)

Projet	Unité	Indice (titane pur industriel)
densité	g/cm³	4.51
Résistivité	μΩ·cm	42 ~ 48
dureté	HV	140 ~ 160
Contrôle de la granulométrie	μm	≤ 50 (personnalisable)
Densité	%	≥ 99,5
Rugosité	Ra (μm)	≤ 0,3 (polissage simple face)

Remarque : La composition spécifique et les paramètres de performance des cibles en alliage de titane peuvent être personnalisés selon les exigences du client. Pour plus de détails, veuillez nous contacter pour obtenir des formules détaillées et des rapports de test.

Tableau des paramètres techniques du matériau cible en titane

Article	Unité	Spécification
Type de matériau	Titane
Symbole	Ti
Masse atomique	47.867
Numéro atomique	22
Couleur/Apparence	Argenté métallisé
Conductivité thermique	W/m·K	21.9
Point de fusion (°C)	°C	1,660
Coefficient de dilatation thermique	x 10⁻⁶/K	8.6
Masse volumique théorique (g/cc)	g/cm³	4.5
Rapport Z		0.628
Pulvérisation		DC
Densité de puissance maximale	W/pouce carré	50*
Type d’obligation		Indium, Élastomère
Commentaires		Alliages avec W/Ta/Mo ; dégage du gaz lors de la première chauffe.

Service et assistance : FAQ sur l’achat de cibles en titane

Emballage et livraison d’achat cible en titane

Pour assurer la sécurité et l’intégrité de la cible pendant le transport, nous utilisons plusieurs méthodes d’emballage de sacs antistatiques + rembourrage en mousse + boîtes en bois robustes, qui conviennent aux normes de transport domestiques et d’exportation. Nous prenons en charge plusieurs méthodes logistiques telles que le transport aérien, le transport maritime et la livraison express. Le cycle de livraison est organisé de manière flexible en fonction du type de produit et de la quantité, et peut être expédié dans les 7 jours ouvrables au plus tôt.

Comment choisir le bon type de cible en titane ?

Vous pouvez choisir en fonction de votre processus de revêtement, du type d’alimentation (DC ou RF), de la structure de l’interface de l’équipement et d’autres facteurs. Nous fournissons également des suggestions de sélection et des services de conseil technique.

Fournissez-vous des rapports de test tiers ?

Oui, nous pouvons fournir des rapports d’essai et de certification SGS, RoHS, ISO et d’autres rapports d’essai et de certification connexes sur demande pour nous assurer que les produits répondent aux exigences du système de qualité du client.

À quoi devons-nous faire attention lors du stockage et de l’entretien des cibles en titane ?

Veuillez stocker dans un environnement sec et ventilé pour éviter tout contact direct avec la vapeur d’eau et les gaz corrosifs. Il est recommandé de conserver les cibles inutilisées dans leur emballage d’origine scellé.

Pouvez-vous fournir des échantillons ou des essais ?

Prenez en charge des échantillons de petits lots et des services d’épreuvage rapide pour aider les clients à effectuer les tests de processus le plus rapidement possible.

Obtenez des solutions exclusives

Que vous soyez à la recherche de cibles en titane standard stables et efficaces ou que vous ayez besoin de produits personnalisés avec des propriétés spéciales, Chalcotitanium peut vous fournir une assistance fiable.

N’hésitez pas à contacter nos conseillers techniques pour obtenir des détails sur les produits, des solutions d’épreuvage et des devis personnalisés.